イノベーション・ジャパン2018 ~大学見本市&ビジネスマッチング~
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開催2018年8月30日 (木)~31日 (金)
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京都府

株式会社FLOSFIA

α型酸化ガリウム 高品質自立基板の研究開発

材料・ナノテクノロジー

高品質自立基板の開発により、更なる高耐圧・高品質・大電流化をターゲットへ

小間 NN-04
プレ n0830_2_1240
出展ゾーン
NEDOゾーン
出展分野
材料・ナノテクノロジー
小間番号
NN-04
プレゼンテーション
n0830_2_1240
8月30日(木)
NEDOプレゼンテーション スペース2
12:40 - 12:45

出展概要

製品・技術の名称
α型酸化ガリウムの自立基板を開発する

 

展示の概要
α型酸化ガリウムは次世代ワイドバンドギャップ材料として期待されている。本展示では、我々のチームが手掛ける同材料を用いた現状と今後の展開の説明、及び実際に同材料を用いたショットキーバリアダイオード(SBD)を、汎用品のパッケージであるTO-220に実装した形で評価用回路に搭載し、動作のデモを実施する。

 

コアの技術・特許情報
従来よりα型酸化ガリウムの単結晶薄膜においては、サファイア基板を用いたヘテロエピタキシャル成長にて行われてきた。高品質のα型酸化ガリウム自立基板があれば、ホモエピタキシャル成長が可能となり、更なる結晶の高品質化が可能となる。

 

特徴・ポイント
α型酸化ガリウムについて、これまでサファイア基板上へエピタキシャル成長を用いたデバイス応用が進められており、既に本格開発ステージへ移行している。本研究開発では、α型酸化ガリウム自立基板の確立を目指している。高品質自立基板を開発することで、α型酸化ガリウムの材料ポテンシャルを最大限引き出すことが期待され、広範囲な産業領域での活用が想定される。

 

想定される提供先・提供先へのメリット
(株)FLOSFIAでは、α型酸化ガリウムを用いたデバイス開発を進めており、量産化を目指している。
また、中長期的には、優れた材料物性を最大限活用し、電動化・高周波制御が未だ進んでいない超高耐圧分野への応用が嘱望されている。その実現に向けた基本技術として本エネ環での研究成果が活用される見込みである。

 

主な実績
現在自立基板実現に向けた開発を、国立研究開発法人物質・材料研究機構、国立大学法人京都大学、国立大学法人佐賀大学、株式会社FLOSFIAにて進めている。

 

 

α型酸化ガリウムを利用したショットキーバリアダイオード

α型酸化ガリウム自立基板のイメージ

お問い合わせ先

株式会社FLOSFIA 営業部

電話:075-963-5202  

メールアドレス:igawa@flosfia.com

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