イノベーション・ジャパン2018 ~大学見本市&ビジネスマッチング~
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開催2018年8月30日 (木)~31日 (金)
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工学院大学 情報学部 コンピュータ科学科

馬場 則男 教授

SEM画像処理3次元マイクロ・ナノ構造復元ソフト

ナノテクノロジー
小間 N-05

Kogakuin University Professor Norio Baba

Micro- and nano-scale 3-D surface structure reconstruction software with SEM images processing

9 産業と技術革新の 基盤をつくろう
出展ゾーン
大学等シーズ展示ゾーン
出展分野
ナノテクノロジー
小間番号
N-05

展示概要

技術概要
走査型電子顕微鏡(SEM)は益々高分解能となったが、定量的に3次元構造解析・計測する能力はほぼ従来技術のままである。本技術は、これを飛躍的に向上させるためのものである。観察試料を±60°程度に連続傾斜させ独自の画像処理を施すだけで複雑な3次元表面構造の連続断層像を得ることに世界で初めて成功した。これにより、3Dプリンターで構造を復元することが可能となった。本技術は、試料傾斜像が撮れれば撮影機の種類は問わない。従って、小型光学カメラを並べて、煙のような流体の高速3次元計測など他分野にも応用できる。

想定される活用例
・複雑化する半導体デバイスなどの3次元測長
・生物の微絨毛や新素材のナノファイバーなど複雑な構造体の3次元復元
・光計測分野への応用:反射光を必要としないので半透明な物体や黒い物体への応用や3次元流体計測

 

展示のみどころ
本新技術によって復元する事例として、複雑な表面微絨毛の生物試料のSEM傾斜シリーズ像動画を示し、どのような復元が出来るかを紹介するCG動画をデモする。SEM像からでは見えない真横の輪切りの断面像がCT(トモグラフィー)のように観察できる。微細な部分の3次元復元のところが見どころ

 

3次元復元ソフトの生物試料への応用例 / An application of the present 3D reconstruction method to a biological sample

特許情報

特許情報1 発明の名称
特許出願中・未公開
特許情報1 出願人
学校法人工学院大学
特許情報1 発明者
馬場則男
特許情報1 出願日
特許情報1 出願番号

お問い合わせ先

研究戦略部 研究推進課

電話:03-3340-3440   FAX:03-3342-5304  

URL:https://www.kogakuin.ac.jp/research/index.html

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