イノベーション・ジャパン2018 ~大学見本市&ビジネスマッチング~
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開催2018年8月30日 (木)~31日 (金)
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愛知県

株式会社片桐エンジニアリング

MVPプロセス装置を用いた超高速DLC成膜技術と超高速膜剥離技術

ものづくり

小ロット多品種の超高速処理

小間 NM-11
プレ n0830_2_1150
出展ゾーン
NEDOゾーン
出展分野
ものづくり
小間番号
NM-11
プレゼンテーション
n0830_2_1150
8月30日(木)
NEDOプレゼンテーション スペース2
11:50 - 11:55

出展概要

製品・技術の名称
MVP超高速プラズマ処理装置とその応用技術

 

展示の概要
名古屋大学が開発したMVP法により生成される超高密度プラズマを用い た超高速プラズマ処理装置の実用化開発、及び応用用途開発について 紹介いたします。
<応用用途>
 ① 超高速DLC成膜 応用用途
 ② 超硬工具にほどこされたコーテイング膜の高速除膜

 

コアの技術・特許情報
MVP(Microwave-sheath Voltage combination Plasma)法は基材に 対して負の電圧を印加することで、基材表面にマイクロ波伝搬を可能 にし、基材近傍に高密度プラズマの生成する新しいプラズマ発生法です。
 この発生方法を用いたプラズマCVD法で、DLCの超高速成膜 (120μm/h以上)を達成しています。
日本国特許第4152135号
日本国特許第4973887号

 

特徴・ポイント
1)本超高速処理装置を用いることで、多品種小ロット処理品の歩留ま り大幅に向上 2)大型装置と比較して装置導入コストが1/4。
3)DLC成膜の超高速成膜(120μm/h以上)が可能
4)プラズマを用いることで基材へのダメージの少ない工具表面被膜の 除膜が可能。

 

想定される提供先・提供先へのメリット
♢プラズマ処理分野(DLC成膜分野)
 超高速プラズマ処理による処理時間短縮、多品種小ロット処理品の歩留まり向上
♢ご提供先:表面被膜メーカー
 再被膜に行う除膜工程時間の短縮および剥離剤等による基材へのダメージの減少

 

主な実績
・MVPプロセス装置の試作機の設計・製造・販売
・名古屋大学・岐阜大学との実用化開発、プロセス開発
・各種プラズマ装置(CVD、エッチング装置など)の設計・製造・販売

 

 

MVPプロセス装置

剥離放電の様子

関連URL

お問い合わせ先

株式会社片桐エンジニアリング・名古屋事業所

電話:052-739-2628   FAX:052-739-2634  

メールアドレス:k_yamakawa@kk-eng.co.jp

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